名称 真空式等离子处理系统
型号 8L
控制系统 PLC+触摸屏
电源 380V/AC,50/60Hz,12.5kw
中频电源功率 2000W/40kHz
容量 235L（Option）
层数 6（Option）
有效处理面积 500（L）*500（W）（Option）
气体通道 两路工作气体可选： Ar、N2、CF4、O2
产品特点
超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，精确的控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。
保养维修成本低，便于客户成本控制。
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性完善的功能和专业的技术支持。
应用范围
主要应用于生物医疗行业，印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶，塑胶，聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
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